揮發性有機化合物（VOCs），包括烴類、氧烴類、含滷烴類、氮烴及硫烴類化合物。其種類繁多，分佈面廣，汙染嚴重，在多國環境優先汙染物名錄，VOCs佔80％以上。
（一）有機廢氣治理技術
有機廢氣處理的方法主要有兩類：回收法與消除法。回收法主要有炭吸附、變壓吸附、冷凝法及膜分離技術，透過物理方法，用溫度、壓力、選擇性吸附劑和選擇性滲透膜等方法來分離VOC；消除法有熱氧化、催化燃燒、生物氧化及整合技術，透過化學或生化反應，用熱、催化劑和微生物將有機物轉變成為CO2和水。
（1）回收技術
1、炭吸附法
利用吸附劑（粒狀活性炭和活性炭纖維）的多孔結構，將廢氣中的VOC捕獲。將含VOC的有機廢氣透過活性炭床，其中的VOC被吸附劑吸附，廢氣得到淨化，而排入大氣。炭吸附法主要用於脂肪和芳香族碳氫化合物、大部分含氯溶劑、常用醇類、部分酮類和酯類等的回收。
當炭吸附達到飽和後，對飽和的炭床進行脫附再生；通入水蒸汽加熱炭層，VOC被吹脫放出，並與水蒸汽形成蒸汽混合物，一起離開炭吸附床，用冷凝器冷卻蒸汽混合物，使蒸汽冷凝為液體。若VOC為水溶性的，則用精餾將液體混合物提純；若為水不溶性，則用沉析器直接回收VOC。比如，塗料中所用的“三苯”與水互不相溶，故可以直接回收。
炭吸附技術主要用於廢氣中組分比較簡單、有機物回收利用價值較高的情況，適於噴漆、印刷和粘合劑等溫度不高，溼度不大，排氣量較大的場合，尤其對含鹵化物的淨化回收更為有效。
2、冷凝法
將廢氣冷卻使其溫度低於有機物的露點溫度，使有機物冷凝變成液滴，從廢氣中分離出來，直接回收。但這種情況下，離開冷凝器的排放氣中仍含有相當高濃度的VOC，不能滿足環境排放標準。要獲得高的回收率，系統需要很高的壓力和很低的溫度，裝置費用顯著地增加。
冷凝法主要用於高沸點和高濃度的VOC回收，對中等沸點和高揮發性有機物回收效果並不好。
3、膜分離技術
膜分離技術的基礎就是使用對有機物具有選擇滲透性的聚合物膜，該膜對有機蒸氣較空氣更易於滲透10－100倍，從而實現有機物的分離。適於高濃度、高價值的有機物回收，其裝置費用較高。
最簡單的膜分離為單級膜分離系統，直接使壓縮氣體透過膜表面，實現VOC的分離。單級膜因分離程度很低，難以達到分離要求，而多級膜分離系統則會大大增加裝置投資，故而在這方面的技術還有很大的研究空間。
4、變壓吸附技術
吸附劑在一定壓力下吸附有機物；當吸附劑吸附飽和後，透過壓力變換來“釋放”脫附的有機物。其特點是無汙染物，回收效率高，可以回收反應性有機物。但是該技術操作費用較高，吸附需要加壓，脫附需要減壓，環保中應用較少。
（2）消除技術
1、熱氧化
透過燃燒來消除有機物的，其操作溫度高達700℃－1，000℃，這樣不可避免地具有高的燃料費用；為降低燃料費用，需要回收熱量，有兩種方式：傳統的間壁式換熱，新型非穩態蓄熱換熱技術。
間壁式熱氧化是用列管或板式間壁換熱器來捕獲淨化排放氣的熱量，它可以回收40％－70％的熱能，並用回收的熱量來預熱進入氧化系統的有機廢氣。預熱後的廢氣再透過火焰來達到氧化溫度，進行淨化，間壁換熱的缺點是熱回收效率不高。
蓄熱式熱氧化（簡稱RTO）回收熱量採用一種新的非穩態熱傳遞方式。主要原理是：有機廢氣和淨化後的排放氣交替迴圈，透過多次不斷地改變流向，來最大限度地捕獲熱量，蓄熱系統提供了極高的熱能回收。
2、催化燃燒
使用類似熱氧化的方式來處理VOC，用鉑、鈀等貴金屬催化劑及過渡金屬氧化物催化劑來代替直接燃燒方式，操作溫度通常為250℃－500℃。與熱氧化相似，系統仍可分為間壁式和蓄熱式兩類熱量回收方式。
3、整合技術（炭吸附＋催化氧化）
對於大流量、低濃度的有機廢氣，先用活性炭捕獲廢氣中的有機物，然後用熱空氣來脫附；把濃縮後的氣體送到催化燃燒裝置中，利用催化燃燒適於處理較高濃度的特點來消除VOC。而催化燃燒放出的熱量可以用來預熱進入炭吸附床的脫附氣，降低系統的能量需要量。
（二）低濃度、大風量有機廢氣的治理
在使用有機溶劑的行業中，象汽車塗裝、印刷等行業，有機溶劑濃度低、風量大，若採用上述方法都將使用龐大的裝置，耗用大量經費。目前對這類低濃度、大風量的有機廢氣，主要採用下面幾種方法進行治理。
1、蜂窩輪式濃縮系統
該系統採用蜂窩輪，連續不斷地將低濃度、大風量的排氣中的有機溶劑吸附、分離；然後，再用小風量的熱風脫附得到高濃度、小風量的含有機溶劑氣體。濃縮後的氣體再與小型的催化燃燒或活性炭回收裝置組合，構成經濟的處理系統。
脫附後的排氣只要用吸附風量十幾分之一的裝置就可以進行處理了。該系統體積小，費用低，在國外已成為治理低濃度、大風量有機廢氣的首選方法，並得到廣泛應用。
2、液體吸收法
透過有機廢氣與液體吸收劑接觸，使其中的有機溶劑被吸收劑所吸收，再經解吸，將有機溶劑除去或回收，井使吸收劑獲得再生重複利用。
3、生物處理法
生物脫臭使用微生物將有機溶劑分解。因耗能非常低，運轉費也很便宜而受到人們重視，特別是在歐洲，以德國為中心進行技術開發，應用例項逐漸增多。
4、 固體膜分離淨化法
氣體的膜分離過程是利用被分離組分對膜的滲透效能差異實現的。利用膜分離方法將低濃度有機廢氣富集，然後加以回收或以催化燃燒的方法，目前技術尚不成熟。
5、光催化氧化技術
利用臭氧作為輔助氧化劑，實現光催化氧化苯，以及各種光催化氧化反應為補償技術的治理含苯、甲苯、二甲苯、乙基苯廢氣的應用。研究表明，光催化氧化反應同活性炭吸附、催化燃燒法等補償技術相比，具有經濟潛力。