等離子表面處理裝置在工業生產中常常被用於各種材料表面的清洗、靜電消除、去除灰塵和髒汙、增加表面粘接效能等，俗稱等離子清洗機，其實這是對等離子表面處理裝置的功能特性比較初級的認識。建立在高分子化學、等離子體化學、表面科學和反應控制論等交叉學科基礎上發展起來的等離子技術，利用等離子表面處理裝置這種載體可在三個領域應用大展身手：等離子表面改性、等離子體聚合和等離子體引發聚合，今天我們先透過例項來了解一下等離子表面處理裝置的等離子體聚合工藝的特點和用途。

1 等離子表面處理裝置的聚合例項-PET無塵布疏水層形成後的水滴角變化

PET聚對苯二甲酸乙二醇酯，簡稱聚酯，別名滌綸、達克綸等，在較寬的溫度範圍內具有優良的物理機械效能，長期使用溫度可達120℃，電絕緣性優良，耐疲勞性、耐摩擦性、尺寸穩定性都很好，是製造無塵布很好的原材料。PET無塵布雖然表面親水性並不好，但仍然可以透過水珠，水滴接觸角1°，如下圖。

我們把PET無塵布樣品放入真空等離子表面處理裝置中，設定好相關的工藝引數，包括功率、流量、工藝氣體等，處理10分鐘左右，取出PET無塵布樣品再進行水滴接觸角測量，令人驚訝的事情就發生了，水滴接觸角從1°變成了135°，如下圖。

這就是等離子體聚合現象，我們藉助等離子表面處理裝置做了一次神奇的操作，在PET無塵布表面形成了一層疏水膜，水滴無法滲透過無塵布！

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等離子表面處理裝置的等離子體聚合及特點

等離子體聚合是利用等離子表面處理裝置放電，把有機類氣體單體等離子化，使其產生各種反應形成聚合膜，是沉積高聚合物薄膜的一種方法。等離子體聚合與傳統的聚合方法比較其特點如下：

1）大大拓展了單體物質的種類，理論上幾乎所有的有機物質都能作為單體；

2）生成的聚合膜具有高密度網架結構，機械強度、化學穩定性和熱穩定性好；

3）全程乾式處理，這種工藝技術運用起來方便、環保。

3 等離子表面處理裝置的等離子體聚合工藝的用途

等離子表面處理裝置的等離子體聚合工藝形成的聚合膜與普通聚合膜不同，在性質上被賦予了新的功能，因此成為研製功能高分子膜的一種有效途徑，在以下半導體、電子、醫療等領域的具體產品上廣泛應用。

1）光刻膠膜；

2）電子元器、感測器膜；

3）生物醫學特種膜；

4）光學材料的反射膜；

5）疏水/親水膜、離型膜、絕緣膜、防鏽膜等。

留一個話題，我們完成PET疏水塗層的等離子體聚合在等離子表面處理裝置中通入的是哪幾種工藝氣體？大家還有沒有更好的方案，可以與我們探討。

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