伴隨我國半導體、電子行業的快速發展，高純氣體管道的應用越來越廣泛，像半導體、制芯、醫藥、食品等行業都不同程度的使用了高純氣體管道，因此高純氣體管道的施工對於我們來說也越來越重要，要確保其安全性和經濟性。

一、適用範圍

主要適用於電子、半導體廠房的氣體管道安裝、測試，焊接薄壁不鏽鋼氣體管道，同時也適用於醫藥、食品等廠房的潔淨管道施工。

二、工藝原理

根據特氣工程特點，工程的施工前後分為三個步驟，每一步都要經過嚴格的質量和潔淨度檢查，第一步是管道的預製，為保證潔淨要求，管道的預製一般是在1000級的預製間內進行；第二步是現場安裝；第三步是系統的測試，系統測試主要是對管道內的塵埃粒子、露點、含氧量、碳氫化合物的含量進行測試。

三、主要施工要點

（一）施工前的準備

1、組織勞動力，準備施工中使用的機具、裝置。

2、搭建預製間，潔淨度1000級。

3、施工圖分析，根據工程特點及實際情況編制施工方案，做好技術交底。

（二）管道預製

1、由於高純氣體管道要求的潔淨度較高，為了減少安裝現場的焊接工作量，確保潔淨度，所以管道的施工先在1000級的預製間中預製，施工人員應穿潔淨服，使用的工機具應保證潔淨，另外施工人員應有較強的潔淨意識，施工過程儘量減少對管子的汙染。

2、管道的下料使用的是專用的切管工具，切出的端面絕對和管軸心線垂直，切管時應採取措施避免外界的灰塵、空氣對管子內部的汙染，下好的料應分組編號以便於組對焊接。

3、管道焊接，管道焊接前應先編制焊接程式輸入到自動焊機，試焊樣品，樣品合格後，方能焊接，進行完一天的焊接後，再焊樣品，如果樣品合格，由於焊接引數一直儲存在焊機裡，自動焊機焊接時又非常穩定，所以焊縫質量也是合格的。焊接質量由微機控制，減少了由於人為因素對焊接質量的影響，既提高了工作效率，又能得到高品質的焊縫。

4、焊接工序

（三）現場安裝

1、高純氣體管道的現場安裝應整潔乾淨，安裝人員必須戴潔淨手套。

2、支架設定距離應符合圖紙設計要求，每一固定點套上EP管專用的橡膠套。

3、預製好的管子運到現場，不能磕碰踩踏，不能直接放到地面上，擔上支架後，立即上管卡。

4、現場的管道焊接和預製階段管道焊接程式相同。

5、焊接完畢經有關人員對焊口樣品及管道上的焊口檢驗合格後，貼焊口標籤，填寫焊接記錄。

（四）系統測試

1、系統檢測是高純氣體施工的最後一環，它是在管道壓力試驗、吹掃結束後進行。

2、系統測試使用的氣體首先是合格氣體，氣體的潔淨度、含氧量、露點及碳氫化合物應符合要求。

3、指標的檢測是透過在管道里充入合格氣體，在出口處用儀器測量，管道里吹出的氣體合格了，說明這條管路指標合格了。

四、材料

高純氣體管道按其流通介質的工藝要求一般採用薄壁不鏽鋼管，通常採用316L（00Cr17Ni14Mo2）。主要有鉻、鎳、鉬三種合金元素，鉻的存在提高了不鏽鋼在氧化性介質中的耐腐蝕性，形成一層富鉻氧化膜；而鉬的存在則提高了不鏽鋼在非氧化性介質中的耐腐蝕性；鎳是奧氏體的形成元素，它們的存在既提高了鋼的耐腐蝕性，又提高了鋼的工藝效能。

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