等離子清洗機中產生的等離子體有著獨特的物理和化學特性，可以用於等離子清洗、等離子活化、等離子刻蝕和等離子沉積等工藝。具體有哪些特性呢？

1、電子溫度高，粒子動能大。

2、作為帶電粒子的聚集態，具有類似於金屬的導電效能。

3、化學性質活潑，比較容易發生化學反應，例如等離子體去除有機物。

4、發光特性，可以做各種光源。例如霓虹燈、水銀日光燈都是等離子體發光的現象。

日光燈等離子體

等離子清洗機中產生的等離子體之所具有以上特性，是因為等離子體內部電子和氣體分子間的碰撞。我們以下圖所示的電子碰撞雙原子分子XY為例進行說明。若碰撞能量小，則會發生彈性碰撞，電子的動能幾乎不會改變。如果碰撞能量很高，分子中繞核運動的低能電子，就會在碰撞中獲得足夠高的能量，被激發至離核較遠的高能級軌道上運動。

我們把等離子清洗機中這種處於高能級狀態的分子稱為激發態分子，用XY*表示。激發態分子中的電子從高能級跳回到低能級時，便以發光的形式來釋放多餘的能量，由於光的頻率不同就會讓人看到不同的顏色！

若碰撞電子的能量足夠高，電子吸收的能量就可以使其脫離核的束縛而成為自由電子，也就是分子發生了電離。電子對分子 XY 的碰撞也可以使之分解成X原子和Y原子（離解）。若用“：”表示分子中的成鍵電子對，則離解過程可以表示為X：Y→X

.

+。Y； 這就讓帶有未成對電子（用X和Y旁邊的符號·表示）的X，Y就容易發生化學反應，故被稱為化學活性種或者基團（radical）。

XY激發、電離和離解

在等離子清洗機中H，O，CI等遊離態的原子和CH3，CF2，SiH3等分子都是基團。為了明確它們不帶電荷的性質，我們稱之為中性基團，以與電離產生的離子性基團相區別開來。碰撞過程的反應式以及相應的性質和應用見下表：

等離子體反應、性質和作用

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