矽片光刻膠的成品率與其質量密切相關

目前,全球正面臨“核心短缺”危機,受汽車晶片短缺的影響,福特、大眾、豐田等汽車公司宣佈減產或停產。

然而屋漏偏逢連夜雨,據《證券金融時報》訊息,日本中國東北213強震致使一些日本對於企業發展主導的光刻膠供應告急。佔據一個全球光刻膠技術市場超20%的日本信越,更是我們宣佈關閉廠區。

臺積電、三星和其他晶圓製作方法作為關鍵的半導體耗材,需要使用光致抗蝕劑。現在,光刻膠供應緊急情況下,恐怕全球晶片短缺的情況會更加嚴重。

光刻膠重要性

光刻膠是一種對光敏感的混合液體。在矽片上塗覆光刻膠後,透過化學反應、曝光、顯影等光刻工藝,可以將掩模上設計的圖案轉移到待加工的襯底上。

據SEMI公佈的一份調查資料進行顯示,在2018年全球半導體制造企業材料以及市場經濟結構中,光刻膠的佔比為5。24%,是半導體公司核心耗材。

矽片光刻膠的成品率與其質量密切相關。

光刻膠競爭格局

光電的門檻很高,具有“電子化學工業的皇冠上的明珠”,是精細化工行業材料技術壁壘最高的行業。

在全球半導體光致抗蝕劑市場上,日本企業的壟斷非常嚴重,越是高階市場,這種情況就越明顯。

據悉,在抗蝕劑市場上,日本企業佔80% 以上,信越、土克、住友化學是這一領域的巨頭。

所以日本這次強震的發生,會給光刻膠市場帶來如此大的動盪。

中國光刻膠市場

目前,中國作為高階光刻膠國產化程度低,技術研究還有一個明顯的落後。不過,國產替代是光刻膠市場發展的大趨勢,已有不少具有中國傳統企業正奮力追趕。

在門檻較低的PCB光刻膠市場,國產化率已達50%。

國產替代迎來機遇

日本的光雷索供應危機剛剛給國內的替代品提供了機會。

目前,中國已湧現出南大光電、晶瑞股份、上海新陽等領先的光阻企業,填補了中國市場的空白。

2020年,在南大光電的不斷努力下,南大開發的 arf (193nm)光刻膠通過了使用者使用認證,產量達到要求。

這是國內第一款透過產品驗證的ArF光刻膠。ArF光刻膠可以在90-14奈米甚至7奈米的技術節點上應用。這代表著中國高階光刻膠領域又向前邁進了一步。

同樣在2020年,晶瑞股份也傳來一個喜訊。據悉,晶瑞股份KrF(248nm)光刻膠發展進入企業客戶進行測試不同階段。這一年晶瑞股份還啟動光刻機市場採購管理計劃。

晶瑞以1102。5萬美元從SK海力士手中購買了二手ASML光刻裝置,目前已到貨。

上海信陽也是中國光抗光企業的龍頭企業,過去還成功購買了三臺二手ASML光子機,作為ARF幹光學研發。

此外,上海咸陽斥資7。32億元推進積體電路製造、高階光雷索研發和產業化專案,也在有序推進中。ArF光子學和KrF光子學是該專案在上海信陽的發展方向。

根據前瞻性產業研究所的資料,krf 和 arf 光刻膠在中國的國產化率僅為1% 。但在眾多企業的共同努力下,中國的高階光刻膠有望迎來一個突破。

正文/業務部門稽核/資陽修正/邱智

矽片光刻膠的成品率與其質量密切相關